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晶圓尺寸：8/12in

工藝指標(biāo)：片內(nèi)均勻性≤5%

設(shè)備尺寸：2370*2590*2800  mm

設(shè)備優(yōu)點(diǎn)：模塊化堆疊設(shè)計(jì)，減少占地面積，4-8腔可切換定制。

                 支持Smif、Foup。

                 蝕刻藥液：Cu蝕刻液，Ti蝕刻液。

                 酸，堿，有機(jī)液獨(dú)立抽風(fēng)。

                 支持蝕刻液獨(dú)立回收，回收率≥96%。

                 帶過熱保護(hù)，漏液檢測，過蝕刻救片。

                 支持SECS/GEM通訊協(xié)議。